EPMAとSEM

質問

EPMAとSEMの正式な違いを教えてください。
EPMAはWDS付けたSEMという認識でいいんでしょうか？
（つまりSEMとEPMAは基本的には同じということでいいんでしょうか？）

回答No.1

KinakoAme · ベストアンサー

EPMA, SEM, WDSという言葉をご存知なのですから，略語の説明は
無くてもよろしいですね。

EPMAはWDSを付けたSEMという認識は間違ってはいないと思います。
両者は，これまで装置の構造，電子銃などで区別されてきたものでは
ありましたが，最近では単純には割り切れなくなっています。
EPMAは特性X線の波長分散を分光結晶を利用して得ているために
チャンバーが巨大であり，これが通常のSEMと区別される最大の
特徴となります。一方，より空間分解能の高いSEMにはFE電子銃が
搭載されており，これらのことが両者を区別するよりどころと
なっていました。つまり，EPMAが有するSEM機能は，簡易型の
SEM程度というのが一般的でした。

EPMAでW電子銃を使うことが多いのは，特性X線の広がりがμmオーダ
となりますので，空間分解能を高くしても意味が無いという理由に
よりました。この理由については現在でも変わったわけではないの
ですが，最近ではFE-EPMAというものも出現してきて，両者の垣根が
低くなったようです。ナノスケールの薄膜など，観察対象の幅が
広がって来たり，FIBによるサンプリングが容易になってきたことも
関係しているでしょう（試料が薄ければ特性X線の広がりはあまり
大きくはなりませんので，空間分解能を追求する意味が出て来ます）。
WDS機能に空間分解能を求めたというよりも，WDSとして軽元素までの
分析する能力を備えるとともに，空間分解能の高いSEM観察も可能で
あるという一挙両得的に捉えることもできると思います。

蛇足ですが，FIBにSEM機能が付加されたり，STMにSEM機能が付いたり
する例が結構あるようです。