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SEMのstigma調整って何ですか
SEMを使うとき、高倍率でみるときに像が流れていかないようにstigmaを調整すると聞きました。 でも、なぜ像が流れるのか、stigmaを調整するとは具体的に何をしているのかがわかりません。 詳しく図解しているサイトなどあれば教えてください。
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非点収差調整 ＝ stigma調整 です。 電子ビームは磁場のレンズで収束させますが、Ｘ方向とＹ方向とで収束に差があることを非点収差と言います。 構造（２．４項、図７、図８を参照） （ｐｄｆファイル） http://tech-staff.yz.yamagata-u.ac.jp/kyozai/fe-sem/SEM-EDS.pdf 調整方法（ムービーで解説） http://tech-staff.yz.yamagata-u.ac.jp/kyozai/gakunai/semstepupmovie.htm
お礼
回答ありがとうございます。 すっきりとはいきませんがなんとなくわかった気になりました。