EPMAに付きまして

質問

こんにちは、某鉄鋼２次メーカーに勤めている者です
熱処理に詳しい方に教えて頂きたいのですが、鉄の表面の炭素の分布等を調べるのに、EPMAを使用されている会社が多いと思いますが、この設備かなり高額です。
　もっと安価に分析出来る機械をご存知な方はいらっしゃいませんか？

回答No.1

trytobe

なぜ電子線の EPMA をお使いで、X線での XPS（昔はESCAとも言ってたもの）をお使いでないのか、という疑問はありますが、

それぞれ、検出できる深さや測定面積の得意・不得意があるので、

XPS/ESCA (X線光電子分光分析) の特徴
http://www.nanoscience.co.jp/surface_analysis/technique/XPS-ESCA.html

どれかの装置をもっている大学の研究室などに、外部利用や委託ができないか問い合わせて、装置を借りさせてもらう（代わりに測定してもらう）などで将来自前で購入する価値があるものを探し出すしかないかと思います。

表面分析受託サービス｜表面分析受託サービスのナノサイエンス
http://www.nanoscience.co.jp/surface_analysis/list.html

古い SEM に XPS 機能をもたせて、SEM で観察している範囲の原子分布を画像処理で表示・マッピングすることもできますし。