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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：SEM内で用いるアクチュエーターを探しています。）
SEM内で使えるアクチュエーターの探し方
このQ&Aのポイント
- SEM内で高硬度な金属を切削するためのアクチュエーターを探しています。
- 現在ピエゾアクチュエータが候補としてありますが、ヒステリシスやストロークの問題があります。
- 他に適したアクチュエーターの方法があるか教えていただけませんか。
noname#230358
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noname#230359
回答No.1
電歪がダメなら磁歪。こちらのほうが変位はずっと大きく取れるはず。 超磁歪素子とかいうの。 あとは VCM が何かの超精密機械に使われていたと記憶。
お礼
超磁歪素子、VCMと初めて知りました。検討してみます。 ありがとうございました。