クライオポンプから水？？

質問

最近、スパッタリング装置の排気系に水が溜まるようになりました。
溜まる場所はロータリーポンプのオイル室です。
オイルに水が混入して乳白色になっています。
　スパッタチャンバーの排気はクライオポンプがあり、後段にメカニカルブースターポンプとロータリーポンプがあります。

知人からクライオポンプを再生（リジェネ）するときに水が出ることがあると聞きました。
しかし”特定の条件がそろうと水が出る”ようなことを言っていましたが詳しくは聞き出せませんでした。

なぜ水が出るのか、どのような条件（状態）で水が出るのか教えてください。

回答No.1

siegmund

http://www.ulvac-cryo.com/cp_basic/shiyou/
http://www.ulvac-cryo.com/cp_faq/gijyutu.html#qag17
なんてどうですか．

お礼

ありがとうございました。
参考になりました。