- ベストアンサー
※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：真空チャンバ立上げ時の初期真空引きについて）
真空チャンバ立上げ時の初期真空引きについて
このQ&Aのポイント
- 真空チャンバ立上げ時の初期真空引きについて
- 真空チャンバ立上げ時のアウトガスを抜き切るための目安の真空引き時間または正しい手順方法
- 真空チャンバの立上げ時の漏れ検査の方法と真空引き時間について
- NCN-41321185
- お礼率33% (1/3)
- 電子部品・基板部品
- 回答数3
- ありがとう数1
- みんなの回答 （3）
- 専門家の回答
質問者が選んだベストアンサー
数十Paから50kPa~80kPaすなわち0.5～0.8気圧までの真空悪化という事は、チャンバー内部材に含浸しているガスの放出やエアポケットによる未排気領域からの漏れだしという線は考えにくいですね。(ガス放出総量が多すぎる) なので、大気侵入を許す漏れがどこかにあることになります。 チャンバー単体のリークテストで問題がなかったのであれば、排気バルブのリークを疑います。排気バルブのリークテストか、排気バルブ下流にもう1個バルブを追加するなどして真空悪化速度の変化を確認することになります。 チャンバーのリークレートも仕様値でなく、現状の実測値を測定した方がよいかと思います。
その他の回答 (2)
- lumiheart
- ベストアンサー率47% (1141/2405)
回答No.2
>数十分で50から80Kpa程に圧力が上昇してしまいます。 百分後、２百分後の圧力は如何に？ 百分後でも80Kpa付近なのか？ ＜所謂、サチッてるんでアウトガスと憶測可能 百分後では160Kpaなのか？ ＜サチれてないんで配管からの漏れと憶測可能 サチる http://blog.ac.eng.teu.ac.jp/blog/2016/03/post-9ce2.html
- nagata2017
- ベストアンサー率33% (6875/20335)
回答No.1
真空引きを行うと内部の温度が下がり 時間の経過で外気温と同じに戻っていきます。 それが圧力に影響しているのではないでしょうか 10paだと約1%の空気しか残っていないので その影響はないのかな。
お礼