SiO2薄膜の色の違いについて

質問

はじめまして，私はスパッタ装置を用いてSiO2薄膜を成膜しているのですが，成膜条件を変化させてみたところ，基板上に黒い薄膜が形成される場合と黄色い薄膜が形成される場合がありました．
そこで質問なのですが，このSiO2薄膜の色の違いは何によるものなのでしょうか？
天然の水晶ですと他の不純物によって色の違いが出てくると思いますが，私の場合不純物の混入が原因だとは思えません．
SiO2の結晶構造の違いで色が変化したりしているのでしょうか？
どなたかご意見を頂けるとありがたいです．
よろしくお願いします．

回答No.2

connykelly · ベストアンサー

>黒い膜が成膜された成膜条件と黄色い膜のときではどちらで酸素が欠乏していると考えられるのでしょうか？

以下は私のええ加減な推定で失礼と思いますが、黒い膜の方が酸素欠乏が多いのではと思います。

>SiO2膜が成されていればターゲット材と同様に透明に近い膜ができるということでしょうか？

仰る通りと思います。いずれにしても酸素の量論比は適当な分析手段で捉まえることができると思います。

回答No.1

connykelly

>SiO2の結晶構造の違いで色が変化したりしているのでしょうか？

う～ん、結晶構造の違いというより、スパッタ条件により化学量論的なSiO2という成膜組成ではなく、SiOxと酸素欠乏膜になっていることが考えられますが。。。

お礼

ご回答ありがとうございます．
その考えの場合ですと，黒い膜が成膜された成膜条件と黄色い膜のときではどちらで酸素が欠乏していると考えられるのでしょうか？
それとも，両方ともSiO2膜にはなっておらず，SiO2膜が成されていればターゲット材と同様に透明に近い膜ができるということでしょうか？
私は化学的なアプローチをしたことがないので，非常に的外れな質問をしているかもしれませんが，よろしければまたご意見いただけるとありがたいです．