LOCOS STI ってなんですか？

質問

半導体で使用される　LOCOS　STI　などの素子分離技術とはどういうものなのでしょうか？

回答No.2

oshiete_goo

#1ですが 追加情報です.
LOCOSの参考URLです.
http://wafer.fuis.fukui-u.ac.jp/lsi2/page4-4.htm
TOPページ
http://wafer.fuis.fukui-u.ac.jp/lsi2/top.htm
からめくっていくと, 面白いかも知れません.

またSTIは新しい技術ですが
http://www.labs.fujitsu.com/News/2000/Mar/14.html
問題点もあるようですね.

詳しい方だったらごめんなさい.

もし, もっと詳しい話に興味がおありなら, 補足なさると, (そのレベルを見て)専門の方がご回答くださるかも知れません.

参考URL：

http://wafer.fuis.fukui-u.ac.jp/lsi2/page4-4.htm

回答No.1

oshiete_goo

内容の詳細についてはご専門の方にお願いします.
用語の参考URLです.
http://www.labs.nec.co.jp/Topics/data/r990910/

参考URL：

http://www.labs.nec.co.jp/Topics/data/r990910/

お礼

どうもありがとうございました。参考になりました。今後ともよろしくお願いします.