蒸着装置などで貴重な材料を節約する方法

質問

蒸着装置などで貴重な材料を節約する方法を考えています。
回収することはしていますがいろいろな物質も混在し果たして
高価な金属を優先的に回収できるのか疑問です。
試料に選択的に飛散させる装置はあるのでしょうか？

回答No.4

debukuro

大きな工場で使っていますが市販されているのか工場に合わせて製造するのか分かりません
知識と技術ががあれば自作はできます
なければ出来ません
イオンと静電の区別がつかないようなので難しいとは思います

回答No.3

debukuro

真空容器の中でそれぞれを異極に帯電させておけばほとんど飛散しません
静電塗装と同じです

お礼

回答ありがとうございました。
つまりはイオン化するからということでしょうか？
帯電の電圧、また帯電の方式など、あるいはそのような
装置は市販されているのでしょうか？

回答No.2

debukuro

静電蒸着で選択的に蒸着できます

お礼

回答ありがとうございました。
真空装置での飛散蒸着なのですが静電蒸着について
できれば教えてください。

回答No.1

Massy57

ご質問のプロセスが何を基材に、何をどの程度の均一性で何ミクロンつけるか、および、用途がなにかが開示されていないので、いささか的外れの回答しかできません。
真空蒸着で、蒸発物を回収するというのは、金ぐらいではないでしょうか。金なら、どんな不純物が混ざっていても、それなりのコストで金が精製できるので、ご心配になることは無いと思います。それ以外の材料を回収するというのは非現実的と思います。
周りに付着し、基板に堆積するする割合を増やすためには、基板の動きを固定することがベストですが、均一性とうとうから採用しがたいはず。あとはどれほど無駄な動きを排除するかをお考えください。もう一つの手は、蒸発源からの流れをできるだけ絞ることです。究極はいうまでもなくMBEでしょうが、まあるつぼの形状を工夫し、真空度をできるだけ高くすることぐらいでしょうか。イオンプレーティング法を採用し、バイアスをうまくかけて基板付近に集中的に堆積させるといった案もありそうですが、経験上否定的です。
自分の考えでは、真空蒸着で原料利用率を上げなければならない（コスト的に）ようでは、そもそも設備も高価で、原料使用率のよくない（ご承知でしょうが原料使用率と均一性はトレードオフですよね）このプロセスを採用されるのはいささか無理があり溶液もしくは液相法を選ばれるべきとおもうのですが。

お礼

研究用装置ですので材料、膜厚などいろいろです。
金、白金など少しでも節約したほうがいいと考えています。
回答ありがとうございました。