SiOx膜の蒸着について

質問

SiOx膜を抵抗加熱で蒸着したいのですが、方法知っている方いませんか。EBでの蒸着はよく目にするのですが、抵抗加熱でしか装置がないもので・・・。文献を調べていたら一応抵抗加熱で蒸着のような書き方をしていたので、抵抗加熱でも蒸着できるのでしょうか？
よろしくお願いします。

回答No.1

tama1978

蒸着装置でSiOｘを薄膜したことないのですが、少し文献を見てみました。装置の条件で異なると思うのですが、
酸化物の蒸気圧表では、（蒸着装置の使用圧力10^-5～10^-2Pa程度の範囲で書きます）
SiOの蒸気圧表
　1.33*10^-2Pa:1700K
1.33*10^-3Pa:1200K
SiO2の蒸気圧表
1.33*10^-4Pa:～1470K
　1.33*10^-5Pa:～1270K
でした。あくまで参考データですので。
使用されている抵抗加熱の出力は、どうでしょうか？

http://www.shincron.co.jp/technical/pdf/04-1.pdf