アルミ蒸着膜のエッチング液について

質問

Al蒸着膜をフォトリソグラフィーでエッチングしたいのですが、エッチング液は何を使ったらよいのでしょうか？
Al膜は抵抗加熱蒸着で成膜し、膜厚は1ミクロンぐらいです。
アンダーカットは極力小さくしたいです。
塩酸では反応が進まず（表面の酸化膜のためかもしれません）、硝酸を1/4～1/3混ぜたところ、Al膜がフォトマスクごと全部はがれてしまいました。
どなたか、お知恵を拝借ください。

回答No.3

time_is_money

参考までに，僕が使用しているAlエッチング液は，リン酸：硝酸＝４：１です．
Al蒸着膜の厚さは測ったことありませんが，15秒間蒸着していますので，厚さはそんなには変わらないと思います．
これで約5分間エッチング液につけておくと，マスクを残して綺麗にエッチングされていますよ．
ただ，蒸着時にフィラメントに流す電流が少なかったりすると，エッチングがかなり速く，フォトマスクも一緒にはがれてしまっています．
この電流値は装置によって違うと思いますので，残念ながら具体的には表現できませんけどね.

回答No.2

physicist_naka

そんなことは初めから知っていると言われそうですが・・・
Alが溶ければいいのなら水酸化ナトリウム水溶液ですぐ溶けます。
これでフォトマスクとかがどうなるかはわかりません。

回答No.1

i536

遠い昔、集積回路製作で、温めたリン酸水溶液を攪拌しながら使った記憶があります。なにしろ２０年以上昔のことなので不確かです。あくまで参考までに回答しました。