金の蒸着について

質問

はじめまして。
蒸着に詳しい方、専門業の方がいらしたら教えていただけないでしょうか。

ガラス板に金を蒸着させたいと考えております。（真空蒸着）
蒸着厚さは、50nm位にしたいのですが、蒸着厚さの管理（精度）はどの位まで可能かしりたいのですが。
又、蒸着厚さの確認は、抵抗を用いたものが一般的なのでしょうか？抵抗測定だと膜厚の確認精度が低いのではと感じただけですが、この辺のお話をいただければと思っています。

回答No.1

noname#230359 · ベストアンサー

成膜中の膜厚管理は水晶発振式膜厚コントローラーをよく使用します。
成膜後の膜厚測定は触針式表面形状測定器で測定します。

参考ＵＲＬ参照

私のまわりではこれが一般的ですが他にもいろいろあると思います。

ＵＬＶＡＣなどに相談するとよいでしょう。

参考URL：

http://www.kagaku.com/ulvac_jp/index.html

お礼

早々に回答をいただき、本当に有難う御座いました。
もう少し勉強してから質問させていただこうと思っていたのですが、あまりに専門外だった為、何をどう調べたら良いかもわからない状態でした。

本当に助かります。
今後とも、よろしくお願い致します。