真空蒸着装置

質問

卓上サイズ（もう少し大きくても可）の真空蒸着装置を捜しています．メーカーとおよその価格をご存じの方お教え下さい．

回答No.3

I-love-manabee · ベストアンサー

何に使用するかわかりませんが
研究室で使用しているものを書いておきます.
ただし,方式が蒸着ではなくイオンスパッタリングです．

値段は7年くらい前で80～100万円程度だそうです．

機 器 名：クイック・コーター
メーカー：サンユー電子株式会社
型名：ＳＣ－７０１
用途：試料表面への帯電防止用金属膜蒸着
仕様：スパッタリング方式　Ａｕ膜蒸着
置換方式：Ａｕ膜蒸着
大きさ：約300(Ｈ)×約200(Ｗ)×約300(Ｌ)(ｍｍ)

お礼

有り難うございました．（Ｎｏ．１，Ｎ０．２の方も）
早速，調査します．

回答No.2

nana773

本当の意味で卓上の真空蒸着装置を発見しました。

サンユー電子

http://www.sanyu-electron.co.jp/seihin/grp_svc.html#

値段はいくら位なのでしょうか？

参考URL：

http://www.sanyu-electron.co.jp/seihin/grp_svc.html#

回答No.1

nana773

卓上サイズよりはちょっと大きいですが、

ULVAC機工　小型真空蒸着装置　VPC-060

http://www.ulvac-kiko.com/eqpmnt/vpc060.html

真空ポンプ付と考えるとこのくらいの大きさは仕方ないのではないでしょうか？もっと小さいものもあるのでしょうか？

参考URL：

http://www.ulvac-kiko.com/eqpmnt/vpc060.html