最高スパッタレートはどれくらいですか？

質問

・スパッタについて勉強しているのですが、最高スパッタレート[nm/s]を教えてください。
教えてほしいターゲット：Cu,Ni,BST,STO
よろしくお願いします。

回答No.1

leo-ultra

最高スパッタレート[nm/s]？

それは当てるイオンビームのflux（単位時間単位面積あたりに当たるイオンビームの量）を増やせば、いくらでも大きくなるような気がします。（さすがに他の因子があっていくらでもということはないでしょうが。）

またスパッタするイオン種にもよるでしょうし、化学的スパッタリングをする組み合わせを選べばレートは上がるでしょう。

またスパッタは温度の関数ですから、材料が昇華する温度の少し下でやれば、レートはあがるはずです。

お礼

返答ありがとうございます。なるほど、ビームの強さ、イオン種、温度でレートが上がることはわかりました。