ターゲット材の表面粗度について

質問

現在スパッタ用ターゲット材（主に金、銀）について勉強しているものです。
ある顧客から一般的なターゲット材の表面粗度ってどのくらいなんですか？
と聞かれたのですが、これまでターゲット材の話題に表面粗度が上がった事がないので分かりません。（よく磨く、などアバウトなものはありました…）一般的にこのくらい、という数値などがありましたら教えて下さい。
或いは目的によって大きく変わるものなのでしょうか？その点についてもご教授いただけると幸甚です。

回答No.1

noname#230359

ターゲット材メーカに聞いてみるのが近道かもしれません。
ご自分で確認するとなれば新品のターゲットを計ってみればよいと思います。
さて、粗度とスパッタ品質の関係ですが、スパッタは基板温度や、RF電力、ガス圧などをパラメータとして原子レベルでの反応により成膜するので、ターゲット自身の粗度は関係ないと思います。
私の経験では、長く使ったターゲットは表面があからさまに粗くなっていますが、特に不具合が起きたことはありません。
お客様が粗度を気にしているようであれば、なぜ気にするのかを詳しく教えてもらったほうがいいと思いますし、影響ないと思えばそのように伝えたほうが良いと思います。
ご参考になれば幸いです。

参考URL：

http://www.kojundo.co.jp/

お礼

Karmaさん

ご回答ありがとうございます。
スパッタ品質と表面粗度はあまり関係ないんですね。
ターゲットメーカーにも聞いてみようと思います。

どうも有り難うございました。