シリコンウエハとシランカップリング剤について

質問

初めて、シリコンウエハを使うものです。
シリコンウエハ基板上に樹脂をコートする際に、樹脂と基板との密着性を上げるため、樹脂にシランカップリング剤を添加しました。
しかし、よくよく考えると、シリコンウエハは純珪素の固まりで、カップリング反応が起こらないような懸念があるのですが。。。
この辺に関して、詳しい方がおりましたら、ご教授よろしくお願いします。

回答No.1

koji59 · ベストアンサー

経験論で申し訳ないですが、私がやった際には、シランカップリング剤の効果は確認することが出来ました。

　シリコンウェハ上にシランカップリング剤をスピンコートし、上から樹脂を塗布したんですが、未処理に比較してクロスカット試験では大きな違いがありました。

　無論、ひっつける樹脂によっても、必要とする密着性によっても違うかと思いますが・・。

　ちなみにシリコンウェハの最表面は、空気中で扱えば基本的に酸化膜（SiO2）になっていますので、シラノール残来も少しあるかもしれませんね。このあたりはなんとも言えませんが・・・(^^;

お礼

有難うございます。シリコンウェハの最表面は酸化膜になっているのですね。素人なので無知でした。

回答No.2

phosphole

素人ですが、近くにそういうことをやっているラボがあって、そこの人からの聞き書きです。
Ｎｏ．１さんがおっしゃるように、未処理のシリコンウェハーだと表面は酸化されていて、いくらかシラノールとなっているはずです。そこにシランカップリング剤でもって樹脂を引っかける感じになるのだと思います。
還元処理して完全にＳｉ－Ｈになっていたら、効かないでしょうけど。