シリコンウエハについて

質問

シリコンウエハを２枚重ねてくっつけるような技術は，あるのでしょうか？

回答No.2

DASS

くっつけると言っても、接着剤でくっつけるわけではないですよね？
ちょっと質問内容に具体性が乏しいので、補足をお願いしたいです。

ところで、シリコンウエハ同士ではないのですが、シリコンウエハとガラスをくっつけるのに、「陽極接合」という技術を使います。
ウエハとガラスを接触させておき、電気を流す事で、ガラス中の成分がシリコンと反応して化合物を作り、くっつくそうです。

詳しく書かれたＨＰを見つけられなかったので、専門書などを探してください。

回答No.1

pen2san

はい、あります。
最近（数年前？）では、片方のウエハーの表面を酸化させSiO2を形成します。そのSiO2側にシリコンウエハーを重ねSi-SiO2-Siとします。　これをSOI技術と言い基盤を通してのノイズの減少に役立てたり、基盤への通過電流を押さえ低電力ICを作る際に利用します。