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マイクロマシンは機械or電気？
マイクロマシンはマシンというぐらいだから機械系の方がメインで研究されているのかと思いきや、調べたところ電気系の方のほうが多いような気がします。機械系の方のアプローチの仕方と電気系の方のアプローチの仕方に違いはあるのでしょうか？
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主に、加工方法の違いです。 現状では、マイクロマシン（MEMS)は、半導体を作るのに使うリソグラフィ技術を使うことが多いです。半導体のプロセス技術は、まあ主には電気系の人がやるでしょうからね。 あるいは、極小（nmオーダー）のものを加工するのは、走査型電子顕微鏡（SEM）の技術の応用が多いんですすが、これも主には電気系あるいは材料系の人が担当するでしょうし。 一方で、最近では、昔ながらの機械系の技術（切削とか、繰りとか、切って貼ったりするとか）なんかを使うものもでてきてます。リソとかSEMとかだと３次元構造を自由に作るのは難しいですけど、機械加工ではかなり複雑なものもできる可能性がありますし。 まあ、もともと、電気系、機械系は、電機てまとめて呼ばれるように、区別すること自体にあんまり意味がない気もしないではないですが。
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- k-family
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回答No.2
No.1の方の言われていることに付け加えると、加工方法の他に制御方法もありますね。 静電気の力を使ったり、磁力、と言ってもモーターのようなものではなく微細加工した１ターンのコイルというか電線の発する磁力を使ったりすることが多いです。 でもやはり本当のところは、従来の機械屋さんは大きなものを扱うのになれている、電気屋さんは小さなものを扱うのになれている、と言うことだと思います。
お礼
遅くなり申し訳ありません。ありがとうございました。