ＳｉＯ２の破壊強度の調べ方について

質問

Siを熱酸化してSiO2としたときの、SiO2の破壊強度を知りたいのですが、どのように調べたらいいのかわかりません。
このことがのっている文献や本など知っている方いましたら教えてほしいです。
よろしくお願いします。

回答No.1

pm-770c · ベストアンサー

Siを酸化したとき出来るSiO2は、薄膜ですので評価方法としてはインデンテーション法があります。
解説はURLを参考にしてください。
測定も行っているみたいです。
問い合わせをしてみたらいかがですか？

参考URL：

http://www.nissan-arc.co.jp/tech/tech_03.html

お礼

回答ありがとうございます。
このような方法があるとは知らなかったので参考になりました。