Siとthermal SiO2ってどちらが硬いですか？

質問

Siとthermal SiO2ってどちらが硬いですか？
たしか私の記憶ではthermal SiO2のほうが硬度が高かったような気がするのですが・・。

Webでこれらの情報が見れるサイトがあれば教えてください。よろしくお願いします。

回答No.3

nzw

通常の半導体工学においては、トランジスタ等の（力学的には）静止したデバイスのみを扱うため、半導体研究者の多くは力学的性質に興味がありません。あえてあげるなら、半導体の性質に影響を与える歪関連の性質ぐらいでしょうか。

　ただ、最近はMEMS分野の研究が進展していますので、そちらの分野ですと硬度を含めた力学的性質が調べられているようです。

　以下のようなサイトを見つけました。どの程度信用できるものかわかりませんが、原典が示されていますので、それらの論文誌を調べれば、より詳しい情報が得られるでしょう。

参考URL：

http://www.memsnet.org/material/

回答No.2

leo-ultra

いわゆる金属がセラミックスよりも一般に“やわらかい”理由は、自由電子を介した金属結合のため、結合の方向依存性があまりないためです。

＃１さんがSiは金属だと書きましたが、
Siの結合自体は“方向性のしっかりした共有結合”です。そういう意味ではSiはセラミックスだとも言えます。

SiO2はイオン結合性を少しもった共有結合なので、100%共有結合のSiとはどっちが硬いか、＃１さんがおっしゃられるほどくだらない問題だとは思いません。

ちょっと調べてみました。
岩波の理化学辞典によると、Siの硬度は７だそうです。また以下のサイトによると、結晶SiO2（石英）も硬度７とあります。熱酸化SiO2は結晶SiO2よりもやわらかそうな気もしますので、結論は微妙です。

参考URL：

http://www.gongongon.com/encyclopedia%20ka.html

お礼

Siとその酸化物であるSiO2は半導体工学では当たり前のような存在なので、当然硬度は調べつくされているのかな？と思いきや、なかなか微妙そうですね。
回答ありがとうございました。こちらでももう少し文献等を調べてみます。

回答No.1

noname#160321

Siはただの金属です
thermalＳｉＯ2はセラミックです
後者の方が硬いはずですがなぜこんなものを比較するのでしょうか？？？