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ダイアフラムポンプの構造の件

ダイアフラムポンプについて内部構造や特性について、教えてください。ポンプについて素人なので、できるだけわかり易く説明してくださると助かります。 図や参考文献、URLなどあれば教えてください。

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参考URL:
http://www.ulvac-kiko.com/faq/faq_q03.html

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