シリコンにおける不純物の種類および濃度に係る電子・正孔の移動度の求め方について
BRIGHAM YOUNG UNIVERSITYの半導体に関するWEBページ
(http://www.ee.byu.edu/cleanroom/ResistivityCal.phtml)
に、シリコンにおける不純物濃度[cm^-3]から抵抗率[Ωcm]を計算する
JavaScriptがあるのですが、その計算過程の一部が理解できません。
ソースを拝見する限り、不純物濃度からキャリアの移動度を求め、その
移動度から抵抗率を求めているのですが、不純物濃度からキャリアの
移動度を算出する公式がよくわからないのです(移動度から抵抗率
までの過程は理解しています)。
ソースでは
mob = umin + (umax-umin)/(1+Math.pow((N/Nr),alpha));
mob:移動度
umin:?(Asだと52.2、Pだと68.5、Bだと44.9)
umax:?(Asだと1417、Pだと1414、Bだと470.5)
N:不純物濃度(ユーザからの入力で決定)
Nr:?(Asだと9.68e16、Pだと9.20e16、Bだと2.23e17)
alpha:?(Asだと0.68、Pだと0.711、Bだと0.719)
※:Math.pow(a,b)はaのb乗 [JavaScript数学関数]
不純物以外はドープされる物質特有の定数なのですが、
それぞれ何を示しているのでしょうか(「?」は何を
意味しているのでしょうか?)?
とどのつまり不純物濃度からキャリアの移動度を算出する
公式はどのようなものでしょうか?
補足
どうもです。確認してみます。ただ、手持ちのJISで見た時には粒子のみで、ケミカル条件なんかが無かったような・・・?