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電子機器組み立て向けクリーンルームの基準目安

ひょんなことから、仕事でクリーンルームの仕様に関して調べるはめになりました。 ですが、なかなか良いように出ている物が無いように感じます。 微粒子関係であればなにやら分かるようですが、空気中の不純物質の濃度目安ほか、なにか突っ込んで出ている資料は無い物でしょうか?

みんなの回答

  • spring_f
  • ベストアンサー率26% (29/110)
回答No.1

クリーンルームについてはJIS B9920に規程されています

ggi
質問者

補足

どうもです。確認してみます。ただ、手持ちのJISで見た時には粒子のみで、ケミカル条件なんかが無かったような・・・?

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