ITRS記載のｳｪﾊ環境に求められる環境基準の濃…

質問

ITRS記載のｳｪﾊ環境に求められる環境基準の濃度表記について

半導体やクリーンルーム環境について勉強中の者です。

国際半導体技術ロードマップの歩留まり改善の項目にある、環境濃度数値についての質問があります。
この資料における、酸性ガス濃度やアルカリ性ガス濃度[pptM]に記載している数値は、どうやって換算されているのでしょうか？（有機ガス濃度[pptM]に関してはヘキサデカン換算を使用しているとの記載がありました）
無機系の環境濃度の分析結果は、成分別に記載されているのものしか見たことが無かったので読んでいて疑問に思いました。
また、半導体業界もしくはクリーンルームでは、濃度単位の表記は質量ppb等が一般的なのでしょうか？

今後、数値の読み違いや勘違いを無くす為にもご存知の方がいらっしゃいましたら、御教示願います。

回答No.1

noname#230359

半導体関連の一線から退いて、十数年経過します。
的外れでないとは思いますが、以下の内容にて考察下さい。

溶液の密度が1kg/Lだと、1000ppmのMg溶液１L中にはMgは1g溶けています。
1gは1/24molなので、mol濃度は1/24mol/L≒0.042mol/Lです。

さて、ガスは温度や圧力等で濃度は変化しますが、クリーンルームという空間内における
ガス成分のモル数を管理している。
pptやppbは割合で、Mはモル数にての割合。

お礼

アドバイスありがとうございます。

総有機化合物(ある成分で換算した数値）と同様、総無機酸
(硝酸,亜硝酸,硫酸,･･･etc)，総有機酸(酢酸,ｷﾞ酸,ｼｭｳ酸,･･･etc)，
総塩基も各々何かの成分で換算し、足し合せていたのかと
考えておりました。

アドバイス内容のように、各成分の濃度をいったんモル濃度に直し、
数値を総計したとして考えてみます。

ご連絡が遅くなり、申し訳ありません。
ありがとうございました。