スパッタリングで起こるシャドウイングについて教えてください。

2001/10/28 21:02

スパッタリングを用いた半導体の配線で、高いアスペクト比の孔や溝の底部側壁で膜厚が薄くなる現象であるシャドウイングの物理的な現象を分かりやすく教えてもらえませんか。また、勉強し始めたばかりなので、銅配線関係の入門書などあれば、紹介していただけたら、有り難いです。宜しくお願いします。

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2001/10/31 00:04 回答No.1

回答がないようなので、一般人ですが... > シャドウイングの物理的な現象単純に斜めから入射する粒子が底までいかず、入り口を塞いでしまう現象では？ > 銅配線関係の入門書入門書は分かりませんが、Cu、ダマシンあたりで検索すると糸口がみつかるかも。