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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：金スパッタ膜厚とレーザー透過率）
金スパッタ膜厚とレーザー透過率
このQ&Aのポイント
- キーエンスのレーザー顕微鏡でポリイミド膜上の銅再配線の膜厚を測定したい
- ポリイミドを透過するため測定ができないため、金スパッタ膜を反射させる方法を考えている
- 金スパッタ膜の膜厚はどのくらい必要か教えてほしい
noname#230358
- その他（電子・半導体・化学）
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noname#230359
回答No.1
jtamさん、こんにちは 私も以前、レーザーテック社のレーザー顕微鏡を 使っていたことがあります。銅配線上ではレーザー光の 反射率が高く、ポリイミド上では極端に低い。 反射光強度差が非常に大きく、レーザー顕微鏡の 受光素子の感度の範囲を超えるために両方の信号 を同時に拾うことが出来ない、という問題ですね。 私も透明膜上（SiO2）からの反射光を拾うのに苦労した経験があります。 すみません、本題に入ります。 東京農工大学さんのホームページに参考データ を見つけたのでご参照ください。 ガラス上のAu薄膜のデータですが、 700nmの光に対する反射率は 50nmで92%、30nmで79% となっています。 650nmでも大差ないと考えられますので、Au薄膜 の厚さを30nm前後で数ポイント振って、 よい条件を探されては如何でしょう？
お礼
Sinoさん、こんにちは この度は大変参考になる情報をありがとうございました。頂いた御意見を参考に実験を行い最適条件を決定したいと思います。 また東京農工大のHPも今後何かと役に立ちそうな情報がありご紹介感謝いたします。 今後ともよろしくお願い致します。