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機器分析のプローブとは?電子線とは?

機器分析法におけるプローブとしての電子線のメリット・デメリットについて説明してください。。。。。

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回答No.1

とりあえず今すぐ思いつくもの。 メリット ・走査しやすい、扱いやすい ・走査可能範囲が広い ・電子状態や構造を見れる ・電子波長を加速電圧で自在に変えられる ・遠くから電子ビームを当てれる デメリット ・試料の導電率悪いとチャージアップ ・試料の陽極酸化(真空度悪かったりコンタミがあると) ・収差が生じる ・大気中・水中では使えない ・高電圧回路が必要 など。