露光機の解像力を上げる方法を教えてください

質問

露光機の開口数および使用光源を変えずに解像力を上げる手法がいくつかあるようなのですが、調べてもなかなか見つかりません。

どのような方法があるでしょうか？
簡単な説明も付けてもらえれば幸いです。

回答No.2

boson

ANo.1 で紹介されている手法は
「超解像」と呼ばれる一連の技術です。
「超解像」でも検索してみてください。

参考文献

日本分光学会測定法シリーズ
「超解像の光学」 河田聡著　学会出版センター
http://www.amazon.co.jp/exec/obidos/ASIN/476222913X
(アマゾンでは今丁度、在庫切れになっていますが、絶版ではありません。別の本屋で注文すれば入手できます。)

お礼

丁寧に本まで紹介してもらってありがとうございます。

回答No.1

noname#11476

１．輪帯照明
２．変形照明
どちらも照明の仕方を工夫する。一般的に言われる解像度はあくまで円形開口のようなものが前提だから、照明の仕方を変えれば解像度も変わります。その中には解像度が高くなるものもあります。

３．干渉の利用（位相シフト法など）
マスクのパターンを工夫して干渉により解像度を上げます。

４．非線形感光レジスト
ある光量で閾値をもって反応するようなレジスト材料を使えばシャープになります。

詳細は上記キーワードで検索すると沢山ヒットするでしょう。それ以上は本を読むしかありません。

あとは特許などをみて下さい。（キャノンの二重露光法など）

お礼

こんなにあるんですね！びっくりしました。おかげで助かりました。ありがとうがざいます。