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ASMLの露光装置について質問ですわ

なぜ波長は13.5nmなのに2nm以下の線幅の回路ができるのでしょうか?波長と線幅の関係性を教えてください

みんなの回答

  • ohkawa3
  • ベストアンサー率59% (1535/2586)
回答No.1

次のURLの情報を参照すると、フォトリソグラフィーで転写できる線の幅は、波長の1/4程度が限界と記載されています。 https://www.tdk.com/ja/tech-mag/knowledge/123 13.5nmの1/4は、3.4nmなので、2nm以下の線幅の回路ができるとすれば、従来の理論以上のメカニズムがありそうですね。 申し訳ありませんが、私がweb検索した範囲ではそこまでは探すことができませんでした。 この分野の技術に詳しい方からの回答を期待したいと思います。

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