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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：露光装置について）
「ミラープロジェクション方式」と「ステッパー方式」の違い
このQ&Aのポイント
- ミラープロジェクション方式（ＭＰＡ）とステッパー方式は、露光装置において使用される技術です。
- ミラープロジェクション方式は、光をミラーで反射させてパターンを形成する方式で、高い分解能と効率的な露光が可能です。
- 一方、ステッパー方式は、パターンをマスクによって直接投影する方式であり、高速な露光が可能ですが、分解能はミラープロジェクション方式に比べて低いです。
noname#230358
- 電子部品・基板部品
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noname#230359
回答No.1
私も詳しくはないのですが、↓で簡単な比較をされてます。 http://www.ushio.co.jp/products/tech/le/le23/23_18.htm
![その他([技術者向] コンピューター) イメージ](https://gazo.okwave.jp/okwave/spn/images/related_qa/c205_3_thumbnail_img_sm.png)
お礼
ghｄさん、ご回答ありがとうございました。 USHIOの該技術資料読ませて頂きました。 材料専門なのですが、装置関係の知識が乏しく、転職に伴い、必要性に迫られている状況でした。 参考にさせて頂きます。 有難うございました。