XPS測定による試料へのダメージ

質問

XPS素人です。
XPSで酸化チタン表面を測定しているのですが、長時間測定することによる表面のダメージ等はどの程度あるのでしょうか？酸素欠損など。ダメージが全くないとは思わないのですが、どの程度か知りたくて質問しました。
あいまいな質問で申し訳ないのですが、絶縁性が破壊されるほど酸素欠損が起きますか？という質問です。
宜しくお願いします。

回答No.1

alchemistry · ベストアンサー

「絶縁性が破壊されるほど酸素欠損が起きますか？」の答えに対して、「起こりません」。
試料に電子を照射して絶縁性が破壊されるほどの酸素欠損が起きたら大変です。
ただ、電子を照射して2次電子を放射しているので、
一時的な酸素欠損は起こっているとは思います。
(酸素欠損は酸化物に限りますが。)
例えば、ジルコニアセラミックス(YSZの場合)。
X線回折測定でもXPSでもそうですが、測定後のセラミックス表面の色が少し桃色になりますが、時間が経過するにつれて元の色に戻ります(薄薄黄色)。
電子配置が戻るからです。

ただ、SEMなどの場合、蒸着不十分でチャージアップしながらもサンプルを高倍で見続けた場合には試料にダメージが残ります。絶縁性が失われるかどうかはわかりませんが、この場合は一時的なダメージではないので。

お礼

ありがとうございました。
ただ私の試料ではやはりXPS測定中に表面が変質しているようです。