フローター式流量計のガス流量検定方法

質問

卒論生です。
夏休みはある程度頑張ったのですが、
ここで思わぬ問題が起きました。
皆様、どうか助けてください。
ガスの流量を検定しようと思っています。
ソープメーターで楽勝！と思っていたら、
これには精度が無い、とは知りませんでした。
数％オーダーで検定できる方法を教えて頂けないでしょうか。
ちなみに、使用ガスは二酸化炭素と窒素の混合ガスです。
よろしくお願いいたします。

回答No.1

ie-

ソープメータという物を知りませんが、普通のMFC(マスフローコントローラ)で数%のオーダは出ると思います。使用しているだけなので大雑把な説明ですが、MFCは、流量を測る変わりに、2点間の温度を測って(TCゲージと同じ原理)、ガスの持ち去った熱量を測定し流量を計算します。その値によって中に入っているオリフィスを開閉し流量をコントロールしています(とぼくは、思っているが違うかも)。この事からガス依存があります、普通は、N2で校正されています。と書きましたが、MFCの会社に仕様を言って相談するのがよいと思います。会社は色々ありますがエステックとかMKSとかが有名です。値段は、2～40万位だと思います。

もし流量が一定である、つまりコントロールする必要がない場合は圧力を測るゲージのみでいいとおもいます。