《レチクルマーク》の英語名について教えて頂けないでしょうか。

質問

《レチクルマーク》って、英語名と意味について、教えて頂けないでしょうか？

勝手に申し訳ございませんが、至急知りたいので、ご存知の方はコメントを頂けると幸いです。

回答No.3

corrector_yui · ベストアンサー

翻訳業務に関連しまして、この業界のナレッジがある者です。

半導体のいわゆる前工程において、あるパターンをシリコン上に形成する時にそのパターンが描かれているマスク（ガラス基板にクロームメッキされたもの）を使います。感光性のレジストをシリコンウェハ上に塗布し、それを現像する訳ですけれども、その為にステッパーと言う露光装置を用いてそのマスクのパターンをレジストに露光するわけです。このマスクの事をreticle（レチクル）と言います。このマスクに光学的焦点と位置決めを可能にする為にいくつかの「印」がされています。これが「マーク」と言うもので、英語では一般的にfiducial markと言います。The fiducial marks on the reticleとなります。

半導体製造工程はとても複雑で、上記は一般の方が分かりやすいように解説しましたので、実態とは若干異なる部分が少なくありませんのでご容赦くださいませ。

お礼

お答え頂き誠にありがとうございました。
お返事が遅くなって申し訳けありませんでした。

情報をお調べ頂きありがとうございました。
回答して頂き内容についても、細かい分析やコメントまで頂き、大変助かります。とても参考になりました。

頂いた重要なデーターをいかして、成長な翻訳の道に進めていきたいと思います。

今後もよろしくお願いします。

回答No.2

raccoon_dady

No1の補足です。
つづりは reticule mark で望遠鏡とかの真ん中の十字マークの意味もあるようですが。

お礼

返答が遅くなっている間に再度の回答まで頂き恐縮です。

昨日社内ネットが定期的にメンテナンス入ったため、一日ネットの使用が出来なくなりました。

朝早いやっとネットが復旧できましたので、早速お礼を差し上げたく申します。

どうもご丁寧にありがとうございます。
とても参考になりました。

今後もよろしくお願いします。

回答No.1

raccoon_dady

ＬＳＩの回路マスク（レチクル）のズレを確認するためのマークのことでしょうか？

参考URL：

http://www.nikon.co.jp/main/jpn/society/tec-repo/nrm_01.htm