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RF真空プラズマにおけるアースの役目
- RF真空プラズマにおけるアース(アノード)の役割について疑問を持っています。
- アノードは電子の供給源として機能し、アースのない真空チャンバー内でもプラズマが生成される可能性があります。
- しかし、電力やチャンバーの大きさ、真空度などの条件によって放電の有無が変化するため、詳しい解明が必要です。
- mmcb
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「RF真空プラズマ」 RF＝Radio Frequency =高周波交流ということです。 真空容器がガラス製であっても、カソード端子自体は、周りの空間に対して静電容量を持っ ています。静電容量（＝コンデンサ成分）を介して高周波交流電流が流れる経路が形成され るので、真空容器にアノード電極らしきものが存在しなくてもプラズマを形成できると考え ればいいと思います。 なお、RF電源の出力の一端はカソードに接続されていると思いますが、他端（アース側） は、真空装置の構造体に接続されているものと思います。 理屈っぽい内容ですが、有限の大きさをもつ物体は、周りの壁（アース電位）からどれほど 距離が離れていても、空間が真空であっても、アース電位に対する静電容量をもつことが、 電磁気学の定理で説明できます。 https://www.jeea.or.jp/course/contents/12101/ https://www.youtube.com/watch?v=M5TmhWNiang
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- ohkawa3
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電流が流れるには、電力源と負荷の間を一筆書きで結ぶ経路が必要です。 お問い合わせの「RF真空プラズマ」装置において、「アノード」と「カソード」などキーワードが記載されている図があれば、出典をご教示頂けないでしょうか。図があれば、それに従い説明できそうに思います。 https://www.arios.co.jp/products/image/rf-expe01.pdf
お礼
ご返答ありがとうございます。 頂いたURLの配管系統図で申しますと基板ホルダーがカソードで対向電極がアノード(アース)となります。私が恐らく放電するだろうと言っていたのが基板ホルダーのみをガラス等の絶縁物でできたチャンバーで囲った場合という具合になります。 宜しくお願い致します。
お礼
ご返答ありがとうございます。 なんとなく理解できたような気がします。 よくよく考えるとプラズマボールがこれに当たるので放電することは間違いなさそうです。 チャンバー内にアース(アノード)を入れることで静電容量が外からとることに比べると小さくなり放電(プラズマ)にある程度の方向性を持たせることができ、狙った個所の単位空間当たりの電力密度(プラズマ密度？)が高くなりそうなのでそれが理由かと考えました。 お付き合い頂きましてありがとうございました。