ピエゾアクチュエータの動作確認について

質問

現在、微小切込み切削実験のための切削動力としてピエゾアクチュエータ（最大変位量40m）を使用しようと考えています。切削時に一定の微小送り速度(数m/s程度)を与えて試料台を動かすため、ピエゾ駆動用のプログラムを作成しています。プログラム自体はほぼ完成しているのですが、ピエゾが一定速度で変位しているかどうかを確認する方法がわかりません。どのようにして確認すればよいのかご存知である方がいらっしゃったら、教えていただけませんか。どうかよろしくお願いします。

回答No.2

noname#230359 · ベストアンサー

ピエゾアクチュエータの特性カーブがあると思いますので，変位(または力）
と出力電圧の特性を予め測定し確認しておくと良いと思います。微少変位の
確認はひずみゲージでもできると思いますが，回答(1)さんの推奨するレーザ
ー変位計を用いた方が簡単かもしれません。

参考URL：

http://www.sigma-cybertech.co.jp/sct_opt/eigyou/B/03.htm

お礼

ありがとうございます。ひずみゲージは現在手元にありませんので、レーザー変位計で確認してみようと思います。

回答No.3

noname#230359

静電容量計もあります→マイクロセンスとか。

お礼

ありがとうございます。いろいろと試してみようと思います。

回答No.1

noname#230359

レーザー変位計では測定できませんか？

http://www.optronics.co.jp/bo/search.php?refer=prod_corp&key=4027

お礼

ありがとうございます。レーザー変位計なら実験室にあるはずなので、試してみます。