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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です(原文:位置決め精度と繰り返し位置決め精度の関係が知りたい)
位置決め精度と繰り返し位置決め精度の関係が知りたい
このQ&Aのポイント
- 設備に使用するXYステージの位置決め精度と繰り返し位置決め精度について知りたいです。カタログには位置決め精度が10ミクロン、繰り返し位置決め精度が5ミクロンと記載されていますが、この二つの数値の関係がよく分かりません。
- XYステージの位置決め精度と繰り返し位置決め精度について教えてください。カタログには位置決め精度が10ミクロン、繰り返し位置決め精度が5ミクロンと書かれていますが、この二つの数値の関係が理解できません。
- XYステージの位置決め精度と繰り返し位置決め精度について詳しく教えてください。カタログには位置決め精度が10ミクロン、繰り返し位置決め精度が5ミクロンと明記されていますが、この二つの数値の関係が不明です。
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みんなの回答
noname#230359
回答No.2
JIS B 6192で定められています。 各メーカーはこれに準拠しているようですね。 一例 http://www.applied-micro-systems.net/term/term1.html 私感 任意の位置からの位置決めは位置精度の決め手になる要素がばらつきそれが結果に出るようですが 一方位置決めは要素のばらつきが同じなので任意の~よりは精度は良くなる場合が多いです。
noname#230359
回答No.1
簡単に説明すれば、 位置決めするのに、機械のスペックは、最小メモリは10ミクロンです。 同じ場所に停止させるのに、5ミクロンの誤差で位置決め出来ます。 という意味ですね。 機械が、同じ位置に来ましたといっても、もっと精度の高い測定器で測れば、 5ミクロンのバラツキは、出ます。という事です。
質問者
お礼
単純明快に回答をいただきありがとうございます。 他の,資料と総合して理解に役立てたいと思います。
お礼
大変早いアドバイスありがとうございます。 ご紹介されました添付先の説明を読み,理解できました。 http://www.applied-micro-systems.net/term/term1.html 「株式会社アプライドマイクロシステム」より転記 また,改めて調べるときのためにコピペさせていただきました。 >■位置決め精度 > JIS B 6192に準拠した性能評価方法では位置決め動作(アクチュエータ>を目標の点で止める動作)を行ない、目標点と実際の停止位置との差の絶>対値を求める。この測定を原点から最大ストロークの範囲内の各点で行な>い、求めた値の最大値を示したもの。 >■繰り返し位置決め精度 > JIS B 6192に準拠した性能評価方法では任意の一点へ同じ動作方向から>の位置決め(アクチュエータを目標の点で止める動作)を7回繰り返して停>止位置を測定し、停止位置の最大値と最小値の差を求める。この測定方法>を最大ストロークの範囲の中央およびほぼ両端のそれぞれの位置で行な>>い、求めた値の最大のものを測定値として、その値の1/2倍に±をつけて表>す。半導体業界は、絶対値でプラスマイナス3シグマを表記することもあ>>る。シグマは統計的なバラツキの指標であり、分散と同等である。