算出方法による光学薄膜の屈折率の違い

質問

光学薄膜の屈折率を求める際に、透過率、片面反射率、両面反射率から算出する方法がありますが、各算出方法で屈折率に差が出るのはなぜでしょうか？またどの方法が一番信頼性が高いのでしょうか？

回答No.1

noname#11476

どれも正確には測れません。
物質の複素屈折率は実部と虚部があります。つまり２つの物理量を測定するわけですから測定値が一つでは無理です。
透過率や反射率の測定で求める場合は、虚部が０（つまり吸収がない）と仮定すれば求めることは出来ます。
ただそれ以外にも散乱という成分もありますので、それでも完全ではありません。

なのでより正確に求めるにはエリプソメトリー（偏光解析）などの手法を使う必要があります。

お礼

回答ありがとうございました。
やはりエリプソメータが一番信頼性が高いのですね。
現在エリプソメータの必要性の有無も検討しているところで、様々な算出方法の比較をしているところです。
エリプソメータでの測定もしてみます。