活性種によって酸化物が溶解する反応式を教えてほしい

質問

プラズマ状態の窒素ラジカル（活性種）を吹き付けることで，SiO2やZrO2などの酸化物が溶解しました．溶けたというか，反応によって消滅したのですが，，，
現象自体は確認しているのですが，どのような化学反応なのかわかりません．化学の知識のある方，化学反応式やメカニズムなど，アドバイスをいただけないでしょうか．

回答No.2

Ligandable · ベストアンサー

ダブルで済みません

　常温であれば　先のことはさすがに困難です。

　常温，大気中で窒素プラズマを維持する条件に何かあるかもしれませんが、
この条件で多量のプラズマを維持する方法が不明で　思い当たりません。

　Zn→Zr　失礼いたしました。　Zrであれば、水素脆性や、900度もあれば
容易に水と反応するなど　原発がらみの問題も出てきますが、一般にZrNは
電極のバリアメタルになるなど堅牢だったはずです。

　お役に立てず済みません。　他の副反応を考える必要もありそうです

回答No.1

Ligandable

畑違うため　心当たりのヒントだけ

　プラズマ温度は高温と思って良いでしょうか

　であれば、酸化亜鉛は高温により容易に昇華します。900度くらい？
亜鉛精錬のネックだったはずです。

　無水ケイ酸の方は、　

　SiO2　＋　N　→　SiO　＋　NO
と、SiOとなれば　融点より低温でも昇華できる
こちらは金属シリコン製造のネックだったはず

　水素があれば、　シラン（SiH4）　ができて　気化します

補足

ありがとうございます．プラズマ温度は常温，大気中です．

Zrは反応しますでしょうか，，，