EUV光源について質問です。

質問

EUV光源では，他のガスレーザーや固体レーザーと違って誘導放出は起こしていないんでしょうか。
また，DPP方式では，発生したEUV光はどうやって集光するのでしょうか。おしえてくださいお願いいたします。

回答No.1

gamma_46 · ベストアンサー

励起状態から基底状態への光の放出によるエネルギー遷移は、常に「自然放射」と「誘導放射」があるのですが、誘導放射として観測するためにはその逆過程である吸収よりも誘導放射の方を大きくする必要があります。つまり、熱平衡状態を壊して遷移エネルギー付近でボルツマン分布と反対の傾きを持つ「反転分布」を作る必要があります。
波長が短くなると急激に（３乗）自然放射の割合が大きくなるので、短波長レーザーを作る時は自然放射の速さに打ち勝ってエネルギーを与えて多くの原子を上準位状態にしなくてはならず、単純に加熱してプラズマを作っただけでは、レーザーにはなりません。
従って、よく使われるEUVやX線光源では誘導放射は無いと行ってもいいでしょう。
発生方式にかかわらず、集光には反射鏡を使います。EUVならシュワルツシルドが一般的でしょう。波長が短くなると斜め入射反射鏡しか使えなくなるので、ワルター型反射鏡等を使います。

お礼

ありがとうございました。大変参考になりました。