原子組成百分率の計算方法

質問

ESCA(XPS)で測定した元素の強度から原子組成百分率を求めたいと思っています。　相対感度係数と元素の強度から目的の物質は何[at%]含まれているかを求めるにはどのような数式にしたらいいですか？
例えば二つの元素の原子組成を合計100[at%]になるように求めるにはどのような式にしたらいいのですか？　一応ピークの面積も分かっています。
物質A　　強度IA　　　相対感度係数RA
物質B　　強度IB　　　相対感度係数RB
でお願いします。

回答No.1

noname#66248 · ベストアンサー

元素Aが a、元素Bが b あったとします。
測定される各元素についての計測面積は、Aが a・RA、Bが b・RB に比例し
それぞれ、強度 IA、強度 IB となって現れます。
つまり、比例定数を k として
a・RA=k・IA
b・RB=k・IB

従って、
a=k・IA/RA
b=k・IB/RB

百分率で表わすと、
a は、[k・(IA/RA)/{k・(IA/RA)+k・(IB/RB)}]×100%
　　　=(IA/RA)/{(IA/RA)+(IB/RB)}×100%
b は、[k・(IB/RB)/{k・(IA/RA)+k・(IB/RB)}]×100%　
　　　=(IB/RB)/{(IA/RA)+(IB/RB)}×100%
となります。