• 締切済み

エッチングできるポリマーを探しています

薬品(液体)でエッチングできる高分子と、その方法を教えてください。 金属と同じように、レジストで溶かさないところを保護して、エッチングで一部だけ取り除きたいと思っています。 一応ポリイミドができるというのは聞いたことがあるのですが、それも具体的な方法はわかりません。 もちろんほかの高分子も大歓迎です。 よろしくお願いします。

みんなの回答

  • c80s3xxx
  • ベストアンサー率49% (1634/3294)
回答No.1

やりたいことがよくわかりません. ポリマーにレジストを被せ,エッチングしてパターニングしたいってことですか? レジストを溶かさず,ポリマー本体を溶かすような溶媒,またはそういう溶媒が存在するようなレジスト剤を使えばいいだけだと思いますが. レジストについて知りたいのか,ポリマーについて知りたいのかも,この文面ではわかりませんし.

_tanabe_
質問者

補足

説明が足らず申し訳ありません。 >ポリマーにレジストを被せ,エッチングしてパターニングしたいってことですか? その通りです。 >レジストを溶かさず,ポリマー本体を溶かすような溶媒,またはそういう溶媒が存在するようなレジスト剤を使えばいいだけだと思いますが. >レジストについて知りたいのか,ポリマーについて知りたいのかも,この文面ではわかりませんし. ポリーマーもエッチングについても詳しいことを知らないので、できれば両方教えていただけないでしょうか。 このポリマーにはこの溶媒、レジスト剤を使うということを教えていただきたいと思っています。 要求が多くて申し訳ありませんが、どうかよろしくお願いします。

関連するQ&A