鉄やニッケル鉄などを気化させる

質問

いわゆる半導体製造時等に出てくる話なんですが
フォトレジストでマスクされた部分以外をイオンプラズマ
エッチングする方法として、
鉄などの重く何と反応しても気化しずらい物質をエッチング
する場合どういったガス系が考えられますかね？
文献によると　ＣＯ+アンモニア　系のガスで、炭酸鉄みたにに
させて気化させる方法が一応あるらしんんですが・・
どなたか知ってる方回等お待ちしていますｍ（＿

回答No.1

tyty7122

ネット検索してみると良い。

キーワードは、CVD、ALDあたりであろう。

ちなみに鉄であればFe(CO)5、ニッケルであればNi(CO)4は僅かであるが揮発性がある。しかし毒性が高いので取り扱いには専用の設備と専門知識が必要である。

お礼

ありがとうございます。
ネット検索して大変参考になりました。