半導体のチップ表面の保護膜は？

質問

現在の半導体のチップの表面を保護（傷がつかないようにするため）している
保護膜は何を使っているのですか。
また、その材料の特性（特に耐熱）について教えて欲しいのですが・・・
よろしくお願いします。

回答No.1

linus127 · ベストアンサー

二酸化珪素（酸化シリコンSiO2）だったと思います．
金属シリコン自体反応性が高くすぐに酸化してしまいますが，酸化すると水晶（耐熱ガラスの方が近いかも）になります．耐熱ガラスみたいなものですから，絶縁・熱耐性に優れます．
金属配線後に拡散方式で全体をコートします．

お礼

ありがとうございました。
いつも同じ人に答えて頂いていますね。
これからもよろしくお願いします。