半導体のチップ表面の保護膜で・・・

質問

半導体のチップ表面の保護膜で・・・
PIQ膜とCVD膜との違いがわかりません。
保護膜には変わりないのでしょうけれど・・？
見た目でわかるのでしょうか？
まったくの初心者者なので場違いな質問
かもしれませんが、教えていただきたいと思います。
また、チップ表面の保護膜の種類はどのようなものがあるのでしょうか？

回答No.2

kagakusuki · ベストアンサー

CVDとは化学気相成長法（Chemical Vapor Deposition）の略称で、膜の構成物質を化学合成する際の前駆物質となる物質で、気体として存在し得る物質を、気相において、空中又は基盤表面で化学反応をさせて、生じた膜の構成物質を、基盤表面に堆積させる事で膜を形成させる成膜法の事です。
　原料物質は気体以外でも、プラズマの状態で反応させる事もあります。
　Wikipediaに掲載されている説明では、CVDを蒸着法の一種としていますが、蒸着はPVD(Physical vapor deposition：物理気相成長法)の一種であり、CVDとは異なる技術です。

【参考URL】
　化学気相成長 - Wikipedia
　　http://ja.wikipedia.org/wiki/%E5%8C%96%E5%AD%A6%E6%B0%97%E7%9B%B8%E6%88%90%E9%95%B7

　IT用語辞典バイナリ > IT用語辞典 > ハードウェア > 電子回路 > 半導体製造技術 >
化学気相成長法とは
　　http://www.sophia-it.com/content/%E5%8C%96%E5%AD%A6%E6%B0%97%E7%9B%B8%E6%88%90%E9%95%B7%E6%B3%95

　PIQに関しては、私も詳しくはありませんが、ポリイミドイソインドロキナゾリンジオン（スペルはおそらくpolyimideisoindoloquinazolinedione）というポリイミド樹脂の一種につけられた略称兼商標で、耐熱性が高く、誘電率も低いため、耐熱性絶縁材や半導体の層間絶縁膜等に使われています。
　又、非感光性である事に加えて、製品によっては透明度の高いものもあるため、光導波路等にも使用されている様です。
　PIQは日立化成工業(株)から販売されています。

【参考URL】
　合成樹脂（プラスチック）
　　http://www.geocities.jp/satouniverse/plastic.htm
　　　※上記ページの38-1

　革新的発明と製品情報 分類 :: H 電気 :: H05 他に分類されない電気技術 :: 電気回路用基板
　　http://www.j-tokkyo.com/1997/H05K/JP09181410.shtml
　　　※上記ページの【００１２】

　日立化成工業株式会社 >> 製品紹介 >> エレクトロニクス関連製品 >> 半導体用材料 >> 超LSI用高耐熱ポリイミド
　　http://www.hitachi-chem.co.jp/japanese/products/srm/005.html

お礼

回答ありがとうございます。

基礎があまりわかってないのでちょっと難しい感じがし、
もっと勉強が必要と実感しました。

丁寧にご回答いただきありがとうございました

回答No.1

P0O9I

どういう意図の質問か分かりませんが、通常チップは保護膜やリード線と共に樹脂でモールドされているため、保護膜等はユーザには見えません。メーカに質問すれば保護膜に何を使っているのか、教えてくれるかもしれませんが、それを変更したりすることはできません。

各保護膜について技術的な興味をお持ちなら、それぞれについて検索すれば、それぞれ説明があるでしょう。

お礼

意味不明な質問にも回答いただきありがとうございます。
検索して調べます・・・