走査型電子顕微鏡 (SEM) についての質問です。

質問

走査型電子顕微鏡 (SEM) についての質問です。

大学の研究室で、SEMを用いて、
Si, O, Na, Hからなる板状の粒子を観察しています。

加速電圧を低めにすると (具体的には1kVなどにすると)
板状の粒子が全体的に白っぽくなるんですが
(チャージアップが原因だと思っているんですが)
板状の粒子の縁の部分のみが
暗い色をして強調されているように観察されます。

縁の部分だけ色が異なるのはなぜなのでしょうか。

また、これを防ぐ方法といったものはあるのでしょうか。

よろしくお願いいたします。

回答No.1

berry789 · ベストアンサー

エッジ効果と呼ばれるものです。
試料からの二次電子放出量は、平坦な場所より凹凸や傾斜のある場所の方が多くなります。
そのため縁の部分は他の部分より強調された画像になります。
エッジ効果は加速電圧が低い方が小さくなるので
もし気になるようでしたらもっと加速電圧を低くしてみてはどうでしょうか。
あるいは、もしお使いのSEMに反射電子検出器があるのであれば反射電子像で観察する方がいいかもしれません。

お礼

回答ありがとうございました。

補足

回答ありがとうございます。
エッジ効果について調べてみたのですが、
縁の部分のほうが明るくなると書いてありました。
しかし、私が実際に観察したときには
縁の部分が暗い像が得られました。
これはどういうことなのでしょうか。
教えていただけたら幸いです。