• ベストアンサー

SEMの対物レンズの絞りズレ?

SEM観察において、絞りがずれているのか「OLウォブラー」にて調節していると画面が真っ暗になったり逆に明るくなったりして、 調節ができません。像は出ています。ちなみに、像の出なくなる場合の対応 (絞りがズレている場合の対応)は一応行いました。 以前もこのようなことがあったのですが、どのように対応したかよく覚えておりません。 まだ絞りがずれているという事でしょうか。 ちなみに使用しているメーカーはJEOLです。 詳しい方おられましたら、ご回答のほどよろしくお願いいたします。

質問者が選んだベストアンサー

  • ベストアンサー
  • polymer1
  • ベストアンサー率51% (84/163)
回答No.1

単刀直入に言って、JEOLの人に相談するのが一番です。 微小観察の精度に係わることですので、専門の人に聞くのが、最も正確で、最も早い事になります。 JEOLでなくとも日立ハイテックとか、SEM装置メーカーなら何処にでも質問できる内容じゃないですか? ここの掲示板には、本当に知識を持った方からの回答も得られますが、素人に近い人の勝手なアドバイスも散見されます。 それをどのように受け取るかは、質問者ご自身です。

icchimoko
質問者

お礼

これとはまた別の現象が出たため、メーカー問い合わせという形になりました。 自己レスして締め切る予定でした。 ご回答ありがとうございました。お手数をおかけしました。