電子顕微鏡の反射電子像

質問

SEMを使いはじめたばかりの初心者です。

通常SEMには二次電子像モードと反射電子像モードがありますが
両者の使い分けが分かりません。
反射電子像では試料の組成情報などまで分かるという話ですが
単に試料の拡大像観察をしたい場合には、
二次電子像モードの方がやはり良いのでしょうか？

同じように像が見えて、組成情報まで分かるというのであれば
反射電子像で全てカバーできると思うのですが
そういうものでもないのでしょうか？

回答No.1

AoDoc · ベストアンサー

私は二次電子像しか使った経験がありませんが、反射電子検出器は定性分析と定量分析が出来るのが特徴ですが、二次電子像を利用した方が分解能が一般的には良く、無難なように思えます。ものによっては二次電子像よりも良い場合があるようですが。下記の日本電子のURLが参考になると思います。

参考URL：

http://www.jeol.co.jp/technical/eo/sousa/mp_appli/mp_appli.htm

お礼

ありがとうございます。
大変参考になりました。