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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：SEMでのLOW-K膜チッピングやデラミネーショ…）

SEMでのLOW-K膜チッピングやデラミネーション評価について

このQ&Aのポイント
  • SEMを使用したLOW-K膜チッピングやデラミネーション評価についての質問です。
  • SEMを所有していないため、技術センターの所有物を借用して観察を行います。
  • 評価倍率や解析分野に関するアドバイスをいただきたいです。
noname#230358
noname#230358

質問者が選んだベストアンサー

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noname#230359
noname#230359
回答No.1

半導体は専門外ではありますが・・・・ 評価の倍率なら参考文献をあされば出てきそう。 （SEM×2000 程度） この分野の進歩は凄い速さと思う。

参考URL：
http://www.disco.co.jp/jp/solution/library/low_k.html http://www.disco.co.jp/jp/products/catalog/pdf/dfl7000.pdf
noname#230358
質問者

お礼

mytec様 回答有り難う御座います。 リンク参考にさせて頂きます。 有り難う御座いました。

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