自然酸化膜の膜厚

質問

シリコンやアルミの自然酸化膜（清浄表面を大気中に放置していた場合）の膜厚ってどれぐらいなのでしょうか？
聞いた話によるとその膜厚は大気の条件に関係なくおおよそ一定になると聞いたのですが。
詳しい方よろしくお願いいたします。

回答No.1

take-1A · ベストアンサー

物理化学系の専門家ではありません故、ご参考までに。

XPS(X-ray Photoelectoron Spectroscopy)による酸化膜の膜厚測定値が、
住化分析センターより下記の如く報告されております。

　　Si ウエハ　：　自然酸化膜の膜厚　　２４Å と推定
　　Al　箔　 　　：　　同　　上 　　　　　　　５３Å と推定

なお yahooで"自然酸化膜　膜厚"で検索すると７０件ほどヒットしましたので、もっと有用なデータが見つかると思います。

お礼

わざわざご丁寧にありがとうございました。
膜厚が思ったより厚かったのでびっくりしています。