STM探針作製

質問

電界研磨のSTM針の作製があまり上手くいきません。
サンプルとしてHOPGを見ているのですが、
見れる時と見れない時の差が激しいです。

作製条件は
電解液に水酸化ナトリウム水溶液（6％位）、
－側に白金リング,＋側にタングステン線（直径0.3mm)
直流電圧5～10V位、電界研磨終了時に純水で洗う程度です。

再現性の高いSTM探針の作製法をどのような方法が
いいでしょうか？

よろしくお願いします。

回答No.1

higahiga · ベストアンサー

自分はＳＴＭを使ったこともなく、ＳＴＭ探針を製作している者ではありませんが、電解研磨を用いて針を作る機会があったのでうろ覚えですが参考までに目を通していただければ幸いです。
電解液にはＫＯＨ（１０％程度）を用い、電極は白金リングと直径0.02mmのＷ線を使っていました。Ｗ線を電解液に浸したまま数千Ｈｚ、20Ｖp-pの交流を掛けると、Ｗ線の液に浸っていた部分が落ち、残った部分先端が針状になります。大体先端半径が数百nm程度の針が出来ていたと思います。除振等せずアバウトにやっていたので出来の差が激しかったですが、すごい時には、先端半径50nmぐらいの針が出来てましたよ。
ＮａＯＨ（10％）だともっと太かったです。直流で上下する方式ですとさらに太かったですね。ちゃんとやればもっとばらつきなく出来ると思います。

まぁ、もっとちゃんとした方法があるみたいですが、専門家ではないので自分も他のいい方法を聞いてみたいですね。

お礼

有難うございます。
電解液はKOHの方がよさそうですね。
交流の方がいい針ができるのでしょうか？

色々試したいと思います。