スパッタ蒸着のバラツキに関して

質問

スパッタ蒸着で反射面のバラツキに関して困っています。
目視で確認する限りでは色味に変化はないのですが
反射面の光度が安定しない現象が起きています。

※OKWAVEより補足：「技術の森( 表面処理技術)」についての質問です。

回答No.2

kon555

まずはワークを顕微鏡やマイクロスコープなどで、詳細に拡大観察してみる事をおススメします。
　スパッタ蒸着に限らずですが、表面の粗さが違うとか、微小な穴や粒子状の物があるとか、そうした事で光の加減は変わってきます。「光度が安定しないのは何故か」を掴むことが第一だと思います。
　そのためには、サンプルをより子細に観察するのが最も効果的です。

回答No.1

iyonohanamuko

スパッタターゲットを交換してみてはいかがでしょうか？
消耗や摩耗による不均一性が生じているのかもしれません。